蒸發(fā)臺(tái)行星鍋性能檢測(cè)的主要技術(shù)指標(biāo)

蒸發(fā)臺(tái)行星鍋作為半導(dǎo)體蒸發(fā)設(shè)備的核心運(yùn)動(dòng)部件，其性能表現(xiàn)直接影響半導(dǎo)體薄膜制備的均勻性與一致性，在高真空蒸發(fā)工藝中承擔(dān)晶圓承載與公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)功能，性能檢測(cè)需覆蓋多維度技術(shù)指標(biāo)，通過(guò)科學(xué)檢測(cè)手段驗(yàn)證其適配工藝需求的能力，為設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行提供數(shù)據(jù)支撐。

旋轉(zhuǎn)精度是蒸發(fā)臺(tái)行星鍋性能檢測(cè)的核心指標(biāo)之一，需檢測(cè)公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性、自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速均勻性及同心度偏差，避免因旋轉(zhuǎn)精度不足導(dǎo)致晶圓表面薄膜厚度不均。溫度適配性檢測(cè)需關(guān)注行星鍋承載面的溫度分布狀態(tài)，確保在工藝設(shè)定溫度范圍內(nèi)無(wú)明顯溫差，與蒸發(fā)臺(tái)坩堝、蒸發(fā)臺(tái)配件形成協(xié)同適配，滿足不同薄膜材料的制備需求。

密封性能檢測(cè)針對(duì)蒸發(fā)臺(tái)行星鍋的結(jié)構(gòu)密封設(shè)計(jì)，通過(guò)真空泄漏率測(cè)試驗(yàn)證其在高真空環(huán)境下的密封效果，防止氣體滲入影響工藝環(huán)境穩(wěn)定性。結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性檢測(cè)則聚焦長(zhǎng)期運(yùn)行后的部件變形、振動(dòng)幅度等參數(shù)，通過(guò)耐久性測(cè)試評(píng)估其抗疲勞性能，延長(zhǎng)設(shè)備整體使用周期。

上述技術(shù)指標(biāo)的全面檢測(cè)，能系統(tǒng)評(píng)估蒸發(fā)臺(tái)行星鍋的實(shí)際性能，為選型、維護(hù)及工藝優(yōu)化提供依據(jù)，助力半導(dǎo)體薄膜制備工藝的穩(wěn)定推進(jìn)與質(zhì)量提升。