您當前的位置:  新聞資訊
  • 10
    2025-10
    開展蒸發(fā)臺坩堝清潔前，需先完成設備停機與冷卻操作，待坩堝溫度降至室溫后，使用半導體行業(yè)專用的聚四氟乙烯或陶瓷工具，輕輕清理內(nèi)壁附著的塊狀工藝殘渣，避免使用金屬工具刮傷坩堝內(nèi)壁...
  • 10
    2025-10
    當蒸發(fā)臺行星鍋出現(xiàn)加熱不均的情況時，可按步驟排查：先檢查加熱源狀態(tài)，電加熱類型需查看加熱管是否存在局部損壞或接線松動，蒸汽加熱類型則需確認蒸汽管道是否堵塞...
  • 09
    2025-10
    延長離子源弧光室壽命需從材質適配、維護管理與參數(shù)調(diào)控三方面入手。材質選擇上，優(yōu)先采用抗等離子體腐蝕的高純陶瓷或特種合金材質，減少弧光放電與離子沖刷對腔體的損耗...
  • 09
    2025-10
    清潔操作需先完成前期準備：確認蒸發(fā)臺完全停機斷電，待腔體溫度降至室溫后緩慢泄壓，避免壓力驟變損傷腔體內(nèi)壁；拆除與腔體連接的蒸發(fā)臺配件（如真空閥門、蒸發(fā)源支撐組件）時，需做好部件編號與安裝位置標記，使用專用工具輕拆輕放，避免配件表面劃傷或結構變形。
  • 09
    2025-10
    從實際影響來看，當注入機離子源燈絲與柵極組件的間隙過大時，柵極對離子的約束能力減弱，離子束易向周邊擴散，導致束流聚焦點模糊、束斑直徑增大，無法準確作用于晶圓目標區(qū)域...
  • 09
    2025-10
    在安裝流程方面，需先開展前期準備工作，核對注入機離子源配件的型號、規(guī)格與設備適配性，清理配件表面及設備安裝工位的油污、粉塵等雜質，避免異物影響安裝精度...
  • 29
    2025-09
    材質適配是低溫工況下半導體設備配件的核心前提。需優(yōu)先選擇低溫韌性優(yōu)異的材質，機械結構類配件可選用低溫下不易脆裂的金屬材質，避免因低溫環(huán)境導致結構損壞...
  • 29
    2025-09
    核心性能參數(shù)驗收是首要指標，需針對丹東半導體設備的核心功能開展測試：參考SEMI E157對半導體設備運動精度的要求，晶圓傳輸定位精度需控制在±0.01mm以內(nèi)，滿足12英寸及以下晶圓的加工適配需求...
  • 29
    2025-09
    外觀檢測是丹東離子源配件出廠的基礎環(huán)節(jié)，需檢查配件表面是否存在劃痕、變形、毛刺等瑕疵，金屬類配件還需確認鍍層均勻度與附著強度，避免因外觀缺陷導致安裝間隙過大或密封不嚴。
  • 29
    2025-09
    材質是蒸發(fā)臺坩堝選型的首要核心參數(shù)，需根據(jù)處理物料的化學性質與溫度條件選擇。例如，處理酸性物料時，可選用耐酸陶瓷材質的蒸發(fā)臺坩堝；涉及高溫熔融工藝，則建議選擇耐高溫剛玉材質，避免物料與坩堝發(fā)生化學反應或設備因高溫損壞。